Vakuumska prevleka podaljša življenjsko dobo potrošnega materiala v industriji polprevodnikov in skrajša čas izpadov komore.Materiali za prevleke segajo od taljenega silicijevega dioksida do cirkonijevega oksida, stabiliziranega z itrijem, prevleke pa so optično čiste in kemično inertne.Vse to pomeni nižje stroške lastništva s sinhronizacijo vzdrževalnih ciklov.
Čas objave: 16. junij 2022